四探针电阻率测试仪工作流程

本文从的定义，工作原理，组成，

四探针电阻率测试仪是运用直线或方形四探针双位测量。单晶硅物理测试方法国家标准；美国 A.S.T.M 标准。

双电测试法：

利用电流探针、电压探针的变换，进行两次电测量，对数据进行双电测分析.

优点：

自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响，它与单电测直线或方形四探针相比，提高精确度，

特别是适用于斜置式四探针对于微区的测试。