FT-300TZ两探针电阻率测试仪

FT-300TZ 是半导体材料的电阻率检测设备，适配国标与 SEMI 相关标准，采用两探针测量法，可测量硅单晶等半导体材料的纵向电阻率，适配半导体企业、科研机构、高校的实验室分析需求，支持长度与截面尺寸之比不小于 3:1 的横截面积均匀试样检测。
设备支持自动正 / 负电流输出与电压测量，带有温度补偿功能，液晶可自动显示、换算电阻、电阻率、电导率等多项数据，测量精度与分辨率高；配置测量平台，探针位置稳定、压力可控，还可按需选购 PC 软件、标准电阻、电脑打印机等配件，支持中英双语操作，适配半导体材料的检测需求

ROOKO 瑞柯微专注半导体材料电性能测试领域，FT-300TZ 两探针电阻率测试仪以可靠测量、合规设计，适配半导体材料纵向电阻率检测，符合国标与 SEMI 标准，是半导体行业研发、生产质控的重要装备。

功能与优势

• 测量体系：电阻 / 电阻率测量范围 10⁻⁷～2×10⁷Ω（Ω・cm），电导率 5×10⁻⁸～10⁷S/cm，测量误差 ±（0.05% 读数 ±5 字），分辨率 0.1μΩ，数据可靠；

• 智能自动化操作：自动正 / 负电流（0～1000mA 可调）与电压测量，液晶大屏实时显示多项数据，支持温度补偿、单位自动换算，可选中英双语 PC 软件，实现数据管理与报表导出；

• 专属测量平台：适配直径 4~22mm 硅芯、检验棒（可定制规格），探针间距 1.59mm（可定制），压力 6-12N，接触位置重复无横向移动，保障测试一致性；

• 合规性保障：符合 GB/T 1551-2021、SEMI MF 397-1106 标准，满足半导体行业检测规范要求

电阻率测试仪参数 资料

1.电阻率：10^-7～2×10^7Ω-cm
2.电 阻：10^-7～2×10^7Ω

3.电导率：5×10^-7～10^7s/cm

4.分辨率： 0.1μΩ 测量误差±（0.05%读数±5字）

5.测量电压量程： 2mV   20mV  200mV 2V 测量精度±（0.1%读数）

6.分辨率：  0.1uV  1uV  10uV  100uV

7.电流输出：直流电流 0～1000mA 连续可调，
量程：1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，1000mA, 误差：±0.2%读数±2字

8.显示方式：液晶显示：电阻值、电阻率、电导率值、温度、单位自动换算、横截面、高度、电流、电压等.

9.温度要求：23℃±1℃

10.电源：220±10% 50HZ/60HZ

采用两探针一体化测试结构，装样便捷、适配块状 / 棒状 / 片状导电材料。高精度直流源与微电阻测量模块，数据稳定重复性好。支持自动量程、温度补偿、过载保护，7 寸触控直读电阻率、电导率等参数。可搭配 PC 软件实现曲线记录、数据存储与报表导出，满足实验室与产线质检。